Gate dielectric integrity : material, process, and tool qualification /
Tác giả: Gupta, D. C. (Dinesh C.); Brown, George A; Conference on Gate Dielectric Integrity (1999 : San Jose, Calif.).
Kiểu tài liệu:
SáchTùng thư: Collection of Advanced Material Science and Nanotechnology Books.Xuất bản: West Conshocken, Pa. : ASTM, c2000Mô tả vật lý: xi, 169 p. : ill. ; 23 cm.Số ISBN: 0803126158.Chủ đề: Semiconductor wafers -- Reliability | Integrated circuits -- Wafer-scale integration -- Reliability | Gate array circuits -- Materials | Silicon oxide films -- Testing | Dielectrics -- Testing
| Kiểu tài liệu | Kho hiện tại | Ký hiệu phân loại | Trạng thái | Ngày hết hạn | ĐKCB | Số lượng đặt mượn |
|---|---|---|---|---|---|---|
Sách chuyên khảo
|
Thư viện Trường ĐH Khoa học và Công nghệ
Trường Đại học Khoa học & Công nghệ |
621.382 (Xem kệ sách) | Sẵn sàng | MSN.EB.000319 |
Tổng số đặt mượn: 0
Includes bibliographical references.
Hiện tại chưa có bình luận nào về tài liệu này.